CVD系列真空电阻式气相沉积炉
所属类别 ： 特种炉型
产品编号 ： T-00
产品名称 ： CVD系列真空电阻式气相沉积炉
装料方式 ： 立式
产品编号 ： T-00
产品名称 ： CVD系列真空电阻式气相沉积炉
装料方式 ： 立式
◇产品描述 ：化学气相沉积炉是用采用石墨加热，用石墨软毡、不锈钢框架组合隔热屏隔热的单室立、卧式真空炉。化学气相沉积炉主要用于碳材料的气相致密化处理。
◇主要技术指标
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型号 |
有效区尺寸 (mm) |
装炉量 (kg) |
加热功率 (kw) |
最高温度 (℃) |
温度均匀性 (℃) |
极限真空度 (Pa) |
压升率 (Pa/h) |
气冷压强 (bar) |
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CVD251212 |
2500x1200x1200 |
1500 |
650 |
1500 |
5 |
10 |
0.05 |
/ |
|
CVD401515 |
4000x1500x1500 |
6000 |
650 |
1300 |
10 |
10 |
0.05 |
/ |
|
CVD181828 |
1800x1800x2800 |
800 |
810 |
1500 |
10 |
30 |
0.08 |
/ |
注：个别指标可以根据客户需求订制。
